半导体设备行业是技术含量较高的行业，目前我国90%以上的半导体设备依赖进口，尤其在高端IC设备领域，几乎没有国内设备的声音。因此，从其他半导体设备领域取得突破后，再“反哺”IC设备可以说是中国半导体设备行业最切实可行的路。
光伏设备一枝独秀
近两年光伏设备的异军突起使之成为国内半导体设备行业发展的领头羊。中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠在接受《中国电子报》记者采访时表示，由于国内生产IC设备的企业不多，而且本身生产的量也很少，导致国内IC设备在设备领域所占比重逐渐减小，取而代之的是太阳能光伏设备以及LCD(液晶显示器)、LED(发光二极管)设备，这些市场的强劲需求带动了国产设备的发展。
中电科技集团公司第48研究所副所长王俊朝表示，国内半导体设备产业总体的量不大，大部分用在研发线和小型线上，而且由于国内IC生产线一般都是整线引进，因此国产设备要进入IC大生产线难上加难。“东方不亮西方亮”，IC市场的不景气被光伏市场的欣欣向荣所替代，国内设备厂商迎来了快速发展甚至是超速发展的时期：国产太阳能电池生产设备及硅片加工设备已经在行业树立起品牌美誉度。他介绍说，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口。“国产太阳能电池组件比国外低30%左右，很大一部分原因在于国产设备价格低，用国外设备建一条线的钱，可以用国内设备建3条线。”王俊朝对国产设备的价格优势进行了分析。
关键设备突破在即
尽管国产太阳能设备逐渐崛起，但其中的一些关键设备还有待突破。王俊朝表示，太阳能电池制造设备中全自动丝网印刷机是亟待攻克的难题，目前已经有多家企业在攻关，估计最近一两年会有方案出来；而多晶硅连续制绒设备也已经有样品出来，过不了多久就可以用在生产线上了。在多晶硅材料加工设备中多线切割机是要逾越的关卡，目前也已经有样机出来。这些都是值得期待的。“中国太阳能光伏设备行业起步不晚，并且背靠中国这个产能最高、产量最大的太阳能电池市场。国产太阳能设备行业的崛起指日可待。”王俊朝对未来充满了期待。光伏设备的发展离不开国内市场的全面启动，为此，王俊朝建议，应尽早实施切实可行的“上网电价补贴法”并提高半导体尤其是太阳能光伏产品的出口退税率；制定全面的科技创新鼓励政策，选定相关行业领军企业给予重点支持。
七星华创副总经理张国铭在接受记者采访时表示，目前七星华创正在开发晶体硅及薄膜太阳能设备，如清洗及PECVD设备的新型号，并且为满足国内TFT-LCD产业的飞速发展，七星华创积极与国外厂商合作，加强5代、6代线设备的研发，目前，他们已经能为客户提供产品。
半导体设备前景看好
当前，中国半导体产业正处于升级换代的时期，半导体产业升级的速度也决定了相关设备制造业的发展；与此同时，中国政府出台的电子信息产业振兴规划也为中国半导体行业的发展带来了新的希望。这样看来，后危机时代的中国半导体及设备制造行业将无疑会迎来更大的挑战和机遇。
业内人士表示，国产半导体设备企业应该充分利用本土企业的地域优势和价格优势，加紧缩小与国外设备的技术差距，加强服务意识，为国内顾客提供量身定做的产品，以产品差异化切入市场，建立起快速反应的服务机制，给国内用户以足够的信心。
中电科技集团公司第45所副所长裴二章告诉记者，根据他们目前所掌握的市场情况分析，半导体分立器件领域首先走出了金融危机的影响，生产厂商加快了提升产品档次的速度，正大幅增加设备投入，扩大生产规模，以满足目前供不应求的市场需要。45所正适应市场需求，及时调整产品结构，加快新产品的开发力度，缩短中试产品的生产周期，力争实现2009年的销售目标。
张国铭表示，尽管国产设备在集成电路市场泛不起什么涟漪，但他们并没有放弃。目前他们正在研发高端12英寸清洗及氧化设备，现在已经完成样机的内部工艺试验，即将送到客户生产线进行测试。
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